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KIF-FU60 ,KIF-FSA 激光干涉儀

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---:韓光兵
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光學測量裝置

KIF-FU60 ,KIF-FSA

 
 

KIF-FU60,KIF-FSA是一款安裝于KIF-20系列干涉儀上的干涉條紋分析系統(tǒng),主要用于通過掃描干涉條紋獲取測試樣本的波相位,以及顯示和保存測量結果。用于質量檢查、生產現(xiàn)場的平面以及球面的面精度的定量評價。

  • 概覽
  • 技術規(guī)格
  • PDF版產品信息
  1. 省空間
    采用本公司開發(fā)的壓電控制器和筆記本電腦,大大節(jié)省了空間。

  2. 測定速度的提升
    改善了圖像數(shù)據(jù)的讀取以及解析算法,提升了測定速度。

  3. 可自動校準
    配上3軸壓電載物臺(選配件),可自動化進行0干涉條紋的校準作業(yè),從而提高作業(yè)效率(球面測定時)。

  4. 解析軟件高機能化
    更新為以自動校準機能為中心的解析軟件,可對應更精細的需求。

  5. 數(shù)碼變焦功能
    使用數(shù)碼變焦功能,可以以0.1的倍率在1倍到3倍內設定倍率,微小工件的確認也變得簡單了。

  6. 2D、3D彩色圖像顯示
    通過2D彩圖顯示可確認波面相位以及橫切面的形狀。3D圖像能更直觀地顯示波面相位。

  7. 合格判斷功能
    設定規(guī)格值,在生產線上可輕松的進行合格判斷。并且,還可以設定與客戶定義像差相對應的規(guī)格值。

  8. 可定制畫面
    具有保存、讀取畫面排版狀態(tài)的功能,可設定適合使用場所以及產品的排版。

干涉條紋解析裝置,干涉條紋解析軟件 KIF-FU60/FU100,KIF-FSA:規(guī)格
型號 KIF-FSA
解析方式 條紋掃描方式
測定條紋條件 正弦波狀強度分布的干涉條紋(不支持多重干涉的干涉條紋解析)
干涉條紋顯示圖像尺寸 640×470(像素)
再現(xiàn)性 PV值:0.01λ(2σ)以下
RMS值:0.003λ(2σ)以下
解析功能 PV、Rms、Pwr、As、Coma、Sa3以及Zernike系數(shù)的解析與顯示
合格判斷功能 PV、Rms、Pwr、As、Coma、Sa3等的規(guī)格值設定與合格與否的顯示
3軸壓電載物臺沖程(選配件) 粗動:±3 mm(XYZ的各軸)
微動:12 μm(XYZ的各軸)
使用環(huán)境 水平無震動的場所(地面震動±0.8/s²以下)
溫度:23±3 °C
濕度:60%以下、無結露

* 因測定時的設置環(huán)境不同,可能發(fā)生機械性能不能充分發(fā)揮的情況。
* 本裝置不保證溯源體系中的精度。

  • 工作參數(shù)設定功能
    ? 產品名、單元名、注釋
    ? Fitting次數(shù)(3/4/9/16/25/36)
    ? 像差清除(像差/Zernike系數(shù))
    ? 顯示單位(λ、μm、nm、條紋)
    ? 對Zernike系數(shù)的offset設定
    ? 規(guī)格值(各像差以及用戶定義式)

  • 解析結果顯示功能
    ? P-V、RMS、Pwr
    ? 賽德爾像差(傾斜、焦點、像差AS、彗差、球面像差)
    ? Zernike系數(shù)(3、4、9、16、25、36項)
    ? 3維鳥瞰圖、2維彩圖
    ? 橫切面?zhèn)让嫦瘢╔、Y方向、PV、RMS)
    ? 合格判斷結果

  • 文件輸入輸出功能
    ? 工作參數(shù)的保存和讀取
    ? 條紋數(shù)據(jù)的保存和讀取
    ? 影面數(shù)據(jù)的保存和讀取
    ? 畫面版面的保存和讀取
    ? 主窗口打印

 


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