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基于設(shè)計數(shù)據(jù)的計量系統(tǒng)

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「RecipeDirector」特點

提高生產(chǎn)性以及測量程式質(zhì)量

  • 可不使用晶片及測長SEM，離線作成測量程式
  • 可僅通過制定計測點及測長方法，自動作成測量程式
  • 可不依賴于操作者的技術(shù)，作成統(tǒng)一質(zhì)量的測量程式
  • 采用服務器&客戶端方式


利用設(shè)計數(shù)據(jù)自動作成測長SEM測量程式

「DesignGauge-Analyzer」特點

  • 對CG5000中取得的SEM圖像進行再次測長
  • 具備可通過SEM圖像查閱及表格形式進行測長結(jié)果確認等數(shù)據(jù)分析功能
  • 使用測長算法的Contour（模型形狀的輪廓線）提取功能（Contour：可選功能）


光刻工藝的OPC評價，模型測量的化的支持

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  • 高分辨率FEB測長儀器 CG5000 (HITACHI CD-SEM) 高分辨率FEB測長儀器 CG5000 (HITACHI CD-SEM)


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