公司介紹：

德國(guó)Microworks 公司成立于 2007年, 是卡爾斯魯厄理工學(xué)院（KIT）微技術(shù)研究所 (IMT) 衍生的子公司。通過(guò)使用X 射線(xiàn)和激光LIGA技術(shù)，Microworks為客戶(hù)提供高精度微結(jié)構(gòu)的產(chǎn)品。在微納米技術(shù)領(lǐng)域，Microworks代表著高精度。在一個(gè)晶片內(nèi)或者從一個(gè)晶片到另一個(gè)晶片，其高縱橫比和精度可以遠(yuǎn)低于1µm。其產(chǎn)品涵蓋相襯成像光柵、微齒輪、雙曲型電極、精密篩、近紅外濾波器（選頻濾波器）、微彈簧，RF等。

產(chǎn)品介紹：

X射線(xiàn)光柵的制作流程

吸收光柵

（a）準(zhǔn)備光柵膠層

（b）掩膜光刻膠層在X射線(xiàn)下曝光

（c）形成精細(xì)的光刻膠結(jié)構(gòu)

（d）電鍍金形成X射線(xiàn)光柵結(jié)構(gòu)