P-545．3D7 緊湊型XY壓電掃描臺(tái)

應(yīng)用于顯微領(lǐng)域，超大通孔設(shè)計(jì)，高性價(jià)比，達(dá)三維掃描，精密版本

 

性能：

響應(yīng)時(shí)間小于5ms，亞納米分辨率， 理想的追蹤工具

掃描行程：70*70*50um

設(shè)計(jì)緊湊、便于包裝

隱藏式滑座，自由轉(zhuǎn)動(dòng)，調(diào)節(jié)更為靈活

多種位置傳感器可選

柔性鉸鏈系統(tǒng)，無(wú)回程差

采用PICMA壓電觸動(dòng)，高可靠性

參數(shù)：

運(yùn)動(dòng)軸：X/Y/Z軸	線性度：0.1%
尺寸：217*150*20mm	機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)：串聯(lián)機(jī)構(gòu)
中孔：82*65mm	無(wú)負(fù)載下字真頻率：1000（X,Y）,800(Z)Hz
傳感器：電阻傳感器，電容傳感器；	負(fù)載：5N
閉環(huán)行程：70-200um	閉環(huán)分辨率：<1nmm

應(yīng)用：

追蹤

超分辨顯微技術(shù)

倒置顯微鏡

拍攝

共聚焦顯微系統(tǒng)

生物技術(shù)